Glavne razlike medsubstrat iz silicijevega nitridain substrat so njihove definicije, uporabe in značilnosti.
Substrat iz silicijevega nitrida:Substrat iz silicijevega nitridaje keramični material, ki se večinoma uporablja v proizvodnji močnostnih polprevodniških naprav, zlasti močnostnih modulov. Ima visoko toplotno prevodnost, visoko mehansko trdnost in dobro toplotno ujemanje ter je primeren za scenarije uporabe, ki zahtevajo visoko zanesljivost in odpornost na visoke temperature. Substrat: Substrat se običajno nanaša na osnovno podporno strukturo, ki se uporablja za proizvodnjo čipov. Običajni substratni materiali vključujejo enokristalne silicijeve rezine, SOI substrate, SiGe substrate itd. Izbira substrata je odvisna od specifičnih aplikacijskih zahtev, kot so integrirana vezja, mikroprocesorji, pomnilnik itd.
Substrat iz silicijevega nitrida
Visoka toplotna prevodnost: Toplotna prevodnost silicijevega nitrida znaša kar 80 W/m·K ali več, kar je primerno za potrebe odvajanja toplote visokozmogljivih naprav. Visoka mehanska trdnost: Ima visoko upogibno trdnost in visoko lomno žilavost, kar zagotavlja njegovo visoko zanesljivost. Ujemanje koeficienta toplotne razteznosti : Zelo je podoben kristalnemu substratu SiC, kar zagotavlja stabilno ujemanje med obema in izboljša splošno zanesljivost .
Substrat
Različni tipi : Vključno z enokristalnimi silicijevimi rezinami, substrati SOI, substrati SiGe itd., vsak material substrata ima svoje posebno področje uporabe in prednosti v delovanju .
Širok obseg uporabe : Uporablja se za izdelavo različnih vrst čipov in naprav, kot so integrirana vezja, mikroprocesorji, pomnilnik itd. .
Substrat iz silicijevega nitrida : Uporablja se predvsem za visokozmogljive naprave na področjih, kot so nova energetska vozila in sodobni transportni tiri. Zaradi odličnega odvajanja toplote, mehanske trdnosti in stabilnosti je primeren za visoke zahteve glede zanesljivosti v kompleksnih okoljih .
Podlaga : Pogosto se uporablja pri izdelavi različnih čipov, posebna uporaba pa je odvisna od vrste podlage. Na primer, monokristalne silicijeve rezine se pogosto uporabljajo pri izdelavi integriranih vezij in mikroprocesorjev, substrati SOI so primerni za visoko zmogljiva integrirana vezja z nizko porabo energije, substrati SiGe pa se uporabljajo za bipolarne tranzistorje s heterospoji in vezja mešanih signalov itd. .