Koliko veste o silicijevem nitridu v substratih iz silicijevega nitrida?

Danes naj se predstavimsilicon nitridz izvedbenega vidika.

O fizikalnih lastnostih

Prvič, toplotne lastnosti silicijevega nitrida. Je visokotemperaturni ognjevarni material brez tališča. Razpade pri približno 1900 ℃ pod normalnim pritiskom. Ima močno odpornost proti lezenju pod visokim pritiskom. Točka mehčanja obremenitve reaktivnega sintranega silicijevega nitrida brez veziva je lahko celo do 1800 ℃. Potem ima dobro toplotno prevodnost in majhen koeficient toplotnega raztezanja. Ima tudi dobro električno izolacijo, majhno dielektrično konstanto in visoko prebojno napetost.

O kemijskih lastnostih

Silicijev nitridima dobro odpornost proti oksidaciji in ne reagira s kisikom v suhi atmosferi pod 800 ℃. Poleg tega je odporen proti koroziji staljene kovine in ne zmoči elementarne kovinske taline (razen bakra) in ni korodiran. Druga značilnost je, da je zlahka topen v fluorovodikovi kislini in ne deluje z razredčeno kislino.

O mehanskih lastnostih

Silicijev nitridima dobro visokotemperaturno trdnost. Visokotemperaturna trdnost pri 1200 °C ne oslabi veliko v primerjavi z trdnostjo pri sobni temperaturi. Poleg tega je njegova stopnja lezenja pri visokih temperaturah zelo nizka. Vse to določa narava močnih kovalentnih vezi. Ima visoko trdoto, takoj za nekaj supertrdnimi materiali, kot so diamant, kubični BN, B4C itd. Ima tudi nizek koeficient trenja in samomazalne lastnosti, podobne površini naoljene kovine.

Zgoraj navedeno je današnji uvod vsilicijev nitrids treh vidikov fizikalnih lastnosti, kemijskih lastnosti in mehanskih lastnosti.